N<SUB>2</SUB>RFグロー放電プラズマによるチタン板の窒化における水素ガス添加効果
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概要
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RFグロー防電を用いた窒素/水素プラズマより, チタン表面に窒化層を生成し, この窒化層の質量, ビッカース硬度, 表面温度をおもに測定した.<BR>本研究では特に, 水素添加の影響を調べるため水素流量に着目し, 試料表面における活性種の表面濃度をコントロールした.その結果, 次の事柄が示された. (1) 水素小流量において硬度の増大ピークが現れ, 経時変化についても実験初期でピークがみられた. (2) 窒化層生成過程は, 活性種の固体内拡散律速を考え, 非定常半無限平板への拡散モデルで説明した. (3) 窒化量の水素流量依存性については, 活性種の表面化学吸着を考えることより説明できた.
- 社団法人 化学工学会の論文
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