パーマロイ薄膜の蒸着実験
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概要
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Preparation of 80-20 permalloy thin films has been experienced and some results of the experiment are discussed, Evaporation was carried out by means of the semi-continuous high vacuum evaporation apparatus reported formerly. The crucibles of alumina, beryllia, thoria, and zirconia were used as evaporation source, Substrate was 0.450.6mm thick slide glass for microscopy cleaned by the treatments in conc. NaOH solution and then chromic acid mixture, <BR>Experimental conditions were as follows : <BR>Degassing of substrate : 2hrs at 250350°C ; Evaporation : at 16004700°C, 23×10<SUP>-5</SUP> Torr, the substrate temperature of 150400°C, magnetic field 250 Oe, ; Annealing : 1.52 hrs at 150400°C, 150 or 250 Oe, 2×10<SUP>-6</SUP>Torr, <BR>Magnetic properties of films evaporated from.Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB> crucible are not stable under dry heat and dump heat ambients. In case of BeO crucible, films have fairly good characteristics.<BR>Coersive force of films are 412 Oe and many films have two magnetization easy axes ; one is parallel and another is perpendicular to the dirction of magnetic field applied during evaporation. Switching characteristics are observed by means of destructive read-out system.
- 日本真空協会の論文
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