イオン蒸着によるAg膜の成長過程
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概要
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蒸発原子をイオン化することによって得られた膜は, 基板がNaClのようなイオン結晶の場合, 室温でも非常に結晶性のよい膜になる.しかし, ガラス基板や強くボンバードしたNaCl基板のような場合は室温で得られる蒸着膜とほとんど変らないということを明らかにした. なお, このような現象は電子顕微鏡観察から得られただけでなく, X線回折によっても確認した.しかし, 蒸発粒子をイオン化すると膜の結晶性がなぜよくなるかという理由についてはなお今後のデータと合せ検討していく予定である.なお, 本研究の一部は文部省科学研究 (費助成特定研究) によってなされたことを明記しておく.
- 日本真空協会の論文
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