アセチレンのイオン化蒸着によるダイヤモンド状カーボン膜
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概要
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Electrically insulating, mechanically hard and chemically corrosion resisting diamond-like carbon films have been produced by ionized deposition of acetylene gas. The structure of these films have been examined by means of electron diffraction. Obtained diffraction patterns show that the interlayer spacings of these films are very close to those of diamond. Growth mechanism of the films are discussed in connection with mass spectrometric analysis of ionized acetylene gas.
- 日本真空協会の論文
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