高速気流による微粒子の除去効率に対する表面材質の影響

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概要

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表面に付着した微粒子の高速気流 (エアージェット) による除去操作について, 除去効率に与える表面材質の影響を検討した.高分子系, 金属系の各種板材を用い, 除去時の湿度を変えて実験を行った結果, どの材質においても除去率が最高値となる湿度があることがわかった.また, 最高除去率が得られるときの湿度は主に板材の表面粗さに依存することがわかった.この依存性は, 表面粗さの影響を考慮したケルビン式によりほぼ推定できた.<BR>除去率の材質による変化も, 表面粗さを支配要因として整理することができる.しかし, 材質物性による差も認められた.低湿度での除去率の変化を吸着水分子による Hamaker定数の変化に, 一方, 高湿度での変化を液架橋力の変化によるものと仮定したモデルを材料物性を考慮して適用したところ, 材質による変化傾向の違いを表すことができた.また, 低湿度域では除去率をほぼ推定できることがわかった.
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