オージェ電子分光法による化合物半導体超格子構造の深さ方向分析

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概要

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著者

• 尾嶋 正治

  日本電信電話(株)境界領域研究所

• 岡本 浜夫

  日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所

• 峰岸 延枝

  日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所

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