メカニカルブースターの試作研究
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概要
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In the last few years, mechanical booster pump has been used for various vacuum equipments. The pumping speed, motor power and back streaming of this pump were tested by us, and compared them with other published presentations of this theme.<BR>we also checked the pumping speed for hydrogen, and it was recognized that it has a considerable effect upon this pump with the increase of pressure.
- 日本真空協会の論文
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