PZT堆積膜とポリ尿素薄膜の積層による強誘電体膜の形成とその電気特性
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概要
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- 粉体粉末冶金協会の論文
- 1995-12-15
著者
-
林 主税
真空治金(株)
-
飯島 正行
日本真空技術(株) 筑波超材料研究所
-
佐藤 昌敏
日本真空技術(株) 筑波超材料研究所
-
賀集 誠一郎
真空治金(株)
-
賀集 誠一郎
真空冶金(株)
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美原 康雄
真空冶金(株)
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林 主税
真空冶金(株)
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飯島 正行
日本真空技術(株)筑波超材料研究所
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飯島 正行
日本真空技術 (株) 筑波超材料研究所
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