微粒子沈着現象の数値解析 : ウエハー表面への沈着速度の計算
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概要
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流体中に含まれる微粒子の挙動を, Brown運動を考慮し, Langevin方程式を用いて直接数値計算した.<BR>モデルとして取り上げたのは, 半導体ウエハー周りの流れ (<I>Re</I>=50) に含まれる微粒子 (粒子径<I>D</I><SUB><I>p</I></SUB>=0.05〜10μm) である.また, 電位を持ったウエハーの周りを, 帯電した微粒子が運動する際の軌跡を計算し, 静電気的な影響についても検討を行った.<BR>ウエハー周りの流れと電場を数値解析により求め, これをもとにして粒子のウエハー表面への沈着速度をLangevin方程式を用いて計算した結果, 従来の実験式および経験式と比較的良好な一致を得た.
- 社団法人 化学工学会の論文
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