減圧CVD法による超硬チップ上へのHfC-(Hf・Ti) C-TiCトリプルコーティング膜の生成及び耐摩耗性

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概要

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• Formation of wear resistance laminated HfC/TiC films on cemented carbide tools by low pressure chemical vapor deposition method were investigated.<BR>As a result, HfC- (Hf·Ti) C-TiC triply layered films with good adhesion were fabricated by inserting (Hf·Ti) C film between HfC and TiC films, and formation condition of triply layerd films was clarified. Layer structure of TiC film was found to depend on carbon content in TiC.<BR>The wear resistance characteristics of HfC- (Hf·Ti) C-TiC coated tools were found to be better than those of TiC coated tools. The mean flank wear, end flank wear, and crater wear of HfC- (Hf·Ti) C-TiC coated tools were smaller than those of TiC coated tools. However, the grooving wear of HfC- (Hf·Ti) C-TiC coated tools was almost same as that of TiC coated tools.

• 日本真空協会の論文

著者

• 府山 盛明

  日立製作所

• 華園 雅信

  日立製作所日立研究所

• 本田 晴彦

  日立ツール(株)

• 浦 満

  日本鉱業株式会社電子材料部品研究所

• 府山 盛明

  日立製作所日立研究所

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