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府山 盛明 | 日立製作所日立研究所
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関連著者
府山 盛明
日立製作所
華園 雅信
日立製作所日立研究所
本田 晴彦
日立ツール(株)
浦 満
日本鉱業株式会社電子材料部品研究所
府山 盛明
日立製作所日立研究所
著作論文
減圧CVD法による超硬チップ上へのHfC-(Hf・Ti) C-TiCトリプルコーティング膜の生成及び耐摩耗性
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