油蒸気の汚染による電離真空計の感度喪失現象
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概要
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払散ポンプにシリコーン油を使用している場合, 電離真空計の指示がときどき零になったという経験を聞くことがある.この感度喪失現象は, 排気系にシリコーン油を使ったからといって必ずしも起きるわけではなく, われわれの研究室にある真空計校正装置の場合は, 長年にわたって何ら問題を感ずることなしにシリコーン油 (DC-704) を人れた拡散ポンプで排気を行なっている.外国の文献でも, このことに言及しているものはないようである.しかし, この現象は真空展測定の立場からは無視できないことなので, 少し詳しい知見を得るために簡単な実験を試みた.以下その結果を述べる.
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