スパッタリング技術の最近の進歩

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本真空協会の論文

著者

• 織田 善次郎

  日電バリアン株式会社真空機器部

• 織田 善次郎

  日電バリアン株式会社

• 織田 善次郎

  日電バリアン株式会社府中工場

関連論文

• スパッタイオンポンプ (II)
• スパッタイオンポンプ (I)
• スパッタリング技術の最近の進歩
• スパッタ・エッチ, イオン・ミリング, イオン・プレーティング, ドライ・プロセス (実験メモ)
• リークシーラー
• マイクロプローブオージェ電子分光装置
• 放射性試料用質量分析計の試作

スポンサーリンク