織田 善次郎 | 日電バリアン株式会社真空機器部
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概要
関連著者
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織田 善次郎
日電バリアン株式会社真空機器部
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織田 善次郎
日電バリアン株式会社府中工場
著作論文
- スパッタイオンポンプ (II)
- スパッタイオンポンプ (I)
- スパッタリング技術の最近の進歩
- スパッタ・エッチ, イオン・ミリング, イオン・プレーティング, ドライ・プロセス (実験メモ)
- リークシーラー
- マイクロプローブオージェ電子分光装置