ナシコン系セラミック材料を利用した湿度センサ
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概要
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Humidity sensors using various NASICON materials were experimentally produced by a thick film printing method. Among the NASICON materials, a humidity sensor using Na<SUB>4</SUB>Zr<SUB>2</SUB>Si<SUB>3</SUB>O<SUB>12</SUB> material showed comparatively lower resistance in low humidity. The relation between a logarithm of its resistance and relative humidity was almost linear and showed nonhysteresis (2M-10kΩ in a range of 20-90%RH). Also, the humidity sensor using Na<SUB>4</SUB>Zr<SUB>2</SUB>Si<SUB>2</SUB>O<SUB>12</SUB> in comparison with one using a usual NASICON was improved on the stability of a long term and durability in various environment tests.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
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