半導体エピタキシャル成長法の現状 (結晶成長(特集))

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概要

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• 日本結晶学会の論文

著者

• 西沢 潤一

  東北大学電気通信研究所

• 新保 雅文

  東北大学電気通信研究所

• 奥野 保男

  (財) 半導体研究振興会

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