高信頼高精度自動車用マイクロエアフローセンサ
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概要
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A new cyclone bypass is adopted to prevent collision of dusts and water splash to the sensing element. Poly silicon heater and temperature sensor are used to obtain corrosion resistance and acidity-proof of the sensing element. The signal conditioning LSI compensates sensor characteristic by calculate 3rd order polynomial expression. Micro airflow sensor for automobile with high accuracy of 2% and high reliability of 2% was achieved.
著者
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松本 昌大
日立製作所 日立研究所
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山田 雅通
日立製作所 日立研究所
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中野 洋
日立製作所 日立研究所
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南谷 林太郎
日立製作所 機械研究所
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渡辺 泉
日立製作所 オートモーティブシステムグループ
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半沢 恵二
日立製作所 オートモーティブシステムグループ
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嶋田 智
日立ハイテクマニファクチャ＆サービス
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