反応性プラズマエッチングを用いて作製した薄膜マルチトラック磁気ヘッド

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概要

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• 社団法人映像情報メディア学会の論文

著者

• 山田 雅通

  日立製作所 日立研究所

• 田中 克之

  日立

• 野呂 良彦

  日立製作所家電研究所

• 田中 克之

  日立製作所家電研究所

• 山田 雅通

  日立製作所家電研究所

• 大島 勲

  日立製作所家電研究所

• 斎藤 正藤

  日立製作所家電研究所

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