クリ-ンル-ム用アクチュエ-タ (生産・加工システムの最適化<特集>)
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概要
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特集 生産・加工システムの最適化半導体製造やバイオテクノロジー関係の分野においてクリーンル-ムは不可欠のものになっており、そのクリーン度への要求が高まってきている。これにともない、塵の発生しないクリーンな自動化機器の開発が強く求められている。本文では、クリーンルーム用アクチュエータの現状を著者らの研究をまじえて解説する
- 東京大学生産技術研究所,Institute of Industrial Science, the University of Tokyo,東京大学生産技術研究所第2部 機電制御工学の論文
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