C-3-77 300ミリArF液浸露光工程を用いて作製したシリコン細線遅延干渉型合分波器(シリコンフォトニクス(1),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

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概要

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• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 2014-03-04

著者

• 田中 有

  技術研究組合 フェムト秒テクノロジー研究機構

• 下山 峰史

  技術研究組合光電子融合基盤技術研究所

• 鄭 錫煥

  技術研究組合光電子融合基盤技術研究所(PETRA)

• 田中 有

  技術研究組合光電子融合基盤技術研究所

• 森戸 健

  技術研究組合光電子融合基盤技術研究所

• 志村 大輔

  技術研究組合光電子融合基盤技術研究所

• 堀川 剛

  技術研究組合光電子融合基盤技術研究所

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