F-39 クリーンルームにおける扉開閉に伴うコンタミネーションの制御 : その2 ハイブリッド制御の検証結果
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概要
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We introduced the new technique, which is called Hybrid Control, for the solution of the contamination problems in case of door usage in a clean room in the previous paper. In this paper, it is shown that pressure difference between two rooms changes smoothly when the door is opened, or is closed. And also shown that a constant air flow is formed in the doorway by air flow visualization and particle measurement.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2006-09-05
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