クリーンルームにおける扉開閉に伴うクロスコンタミネーションの制御手法とその効果検証
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概要
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クリーンルームなどで高い清浄環境を維持する一つの手段として採用される室圧制御では,例えば扉の開閉のような瞬間的な外乱の際に清浄度が低下する可能性がある.われわれは,扉開閉に伴うコンタミネーションのリスクを低減させるため,フィードバック制御による室圧維持と,フィードフォワード制御によるダンパの予測動作を組み合わせたハイブリッド方式の新しい室圧制御を提案し,その有効性について検証した.その結果,扉開放中は高清浄側から低清浄側へ一方向流が形成され,扉開口部で逆流が起こらず,菌の侵入も抑制できることを確認した.扉閉鎖直後は,室圧のオーバーシユートが起こらず,浮遊粒子濃度もほとんど増加しないことを確認した.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2008-09-05
著者
-
吉田 一也
東海大学工学部
-
吉田 一也
東海大工
-
吉田 一也
ダイダン株式会社 開発技術本部
-
吉田 一也
東海大
-
長谷川 雅一
ダイダン株式会社 開発技術本部
-
長谷川 雅一
新潟県立教育センター
-
吉田 一也
ダイダン(株)
-
山口 太朗
ダイダン(株)
-
長谷川 雅一
NTTサイバースペース研究所
-
長谷川 雅一
ダイダン(株)
-
長谷川 雅一
名古屋工業大学応用化学科
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