超音波によるガス濃度測定(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)

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概要

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超音波の音速差を利用して混合ガス濃度を高精度で計測することに成功した。各種ガスの音速値はガス固有であるため、ガスが混合した際には音速か変化する。この音速差を検出することによりガス濃度を算出できる。各ガス中の音速は理論的に値が定義され、音速変化の詳細な測定により、高精度に濃度計算を行うことかでき、ガス濃度の標準測定法としても用いることが可能である。例として、空気中の酸素濃度を測定した結果、標準値に近い20.991%という値が得られた。また、空気中の水素濃度は100ppm〜100%の範囲で測定が可能である事を確認した。さらに、本手法を用いた検知速度は1〜2msecと非常に速く、構造が簡単であり安価に製造でき、校正が不要なセンサーとしても利用できる特徴がある。
2013-01-17

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