ED2012-108 非冷却ボロメータ型フォーカルプレンアレイによるテラヘルツカメラとその応用(ミリ波・テラヘルツ波デバイス・システム)
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概要
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画素数320×240-画素ピッチ23.5μmのボロメータ型フォーカルプレンアレイを搭載した非冷却テラヘルツ(THz)カメラとその応用について述べる.同センサ自体は,波長3μmから約200μmまでほぼ平らなNEP(雑音等価パワー)の特性を示し,200μm以上から感度が悪くなり始める.同センサを搭載した手のひらサイズTHzカメラは30Hzのフレームレートで動作し,ロックインイメージング機能を搭載している.同機能と信号処理機能(フレーム積分とSpatial filter)を組合せることにより,場合により1桁の信号雑音比の向上が可能となる.最後に,同カメラで取得した様々なTHz光源のビームパターン等を紹介する.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2012-12-10
著者
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