6-4 SThM用多機能カンチレバープローブによる局所熱計測(セッション6:マイクロ物理センサ)
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概要
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Scanning Thermal Microscope (SThM) which can measure a thermal image with micro- and nanoscale has been developed. Multifunctional cantilever probe for SThM was made by micro fabricated techniques and it has a thermopile, a thermocouple, a heater, a self-calibration heater and a contact electrode. The performance of each function was evaluated. In the passive mode, a thermal image was captured by scanning on the sample with the probe. However, This image was qualitative and it was impossible to measure the temperature quantitatively because measured values depend on the contact condition strongly. Therefore we focused on the active mode which can measure the temperature quantitatively, and thermal feedback system used in the active mode was verified.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-25
著者
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