210102 マイクロEDMを複合化したマイクロ3次元座標測定機の開発(OS15 生産加工1,オーガナイズド・セッション)
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概要
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Measurement of an inner wall of micro-hole is mainly target for a miniaturized 3D-CMM. In this paper, we describes about μEDM/μ3D-CMM complex apparatus, and μ3D-CMM with a rotatable probe. Therefore we eliminate the processes of de-installation and installation of the probe. And we can measure 3D coordinate without the installation error of the probe. The μEDM has 5-axis motion and a small tabular electrode. Two axes control linear motions of the electrode and the mandrel. And two axes control tilts of the electrode and the mandrel. This machine can form the rod (φ=300μm) into various shapes (L-, T- or needle-shape, etc). In the μ3D-CMM, it can measure an inner wall of micro-hole (50μm<D<800μm) by rotating the L-shape probe.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-03-17
著者
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