302 マイクロ部品用形状・寸法測定装置の開発 : デュアルサーボ測定系の導入([1]高精度マイクロ幾何学量計測)(OS10 加工計測・評価)
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概要
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In order to facilitate the advancement of micro machine technology and to encourage its use across a wider range of industrial fields, measuring technology appears to be essential To this end, we have developed a small three dimensional form measuring apparatus which has non-contact probe detecting proximity to measuring object through tunneling effect. In this study, we have introduced dual servo control system to realize a high resolution and wide measuring range in sur&ce roughness measurement of micro-components on the inkro-3D-CMM.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
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