マルチチャンネル分光器を用いたPLD成膜プロセス診断の検討
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概要
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パルスレーザー堆積法を用いた形状記憶合金薄膜の成膜プロセスにおける,プラズマプルームの分光計測を試みた.従来は回折格子分光器とボックスカー積分器を用いた時間分解計測を行っていたが,本研究では比較的安価で取扱いの容易なマルチチャンネル分光器による計測が可能かを検証した.実験の結果,時間分解計測はできないがプラズマに含まれる発光種の同定のみであれば十分可能であることがわかった.
- 2013-07-31
著者
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