インパルス放電プラズマ照射による金属表面改質
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概要
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インパルス電圧発生装置を用いて雷インパルス放電プラズマを発生させ,これを金属チタンターゲットに積極的に照射した場合の表面状態の変化について詳細な観測・調査を行った.表面形状観察および元素分析は走査型電子顕微鏡(SEM-EDX)を用いて行った.プラズマ照射を受けたターゲット表面は,1回の放電であっても急激な温度上昇による溶融・ひび割れなどが生じている様子が観測された.また,放電条件によっては,放電のための電極材料がスパッタリングされてできたと考えられる微粒子がターゲット表面に付着していることもわかった.プラズマと金属表面との相互作用により表面状態は大きく変化することを見出し,これらの結果から表面改質のメカニズムを検討した.
- 2010-08-30
著者
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