ローラー式ナノインプリント法を用いたフレキシブル液晶用スペーサの形成工程(電子ディスプレイ)
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概要
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ニッケルモールド板を伴うローラー式ナノインプリント法を用いて,プラスチック基板面にストライプ状の凸構造を作製することにより,高強度スペーサの直接形成を試みた.ナノインプリント加工におけるローラー温度,ステージ温度,荷重,ローラーの送り速度を変えたところ,スペーサ高やその面内均一性に大きな変化が生じた.それらの形成パラメータを最適化することにより,モールド構造に応じたスペーサ構造を作製できた.更に,ストライプ状スペーサを形成したプラスチック基板と櫛歯電極付きプラスチック基板を用いて,フレキシブルな垂直配向型液晶セルを試作した.この液晶素子に電圧を印加したところ,光変調効果が確認された.これにより,ローラー式ナノインプリント法によって作製されたスペーサが,フレキシブル液晶素子を作製する上で有用であることが分かった.
- 2011-04-01
著者
-
西村 和
東京理科大学
-
古江 広和
東京理科大学
-
佐藤 弘人
NHK放送技術研究所
-
菊池 宏
NHK放送技術研究所
-
藤掛 英夫
NHK放送技術研究所
-
菊地 宏
Nhk放送技術研究所
-
菊地 宏
三菱電機株式会社
-
藤掛 英夫
Nhk放送技術研究所材料基盤技術
-
佐藤 弘人
Nhk放送技術研究所 (表示・機能素子研究部)
-
藤掛 英夫
Nhk 放送技研
-
菊池 宏
日本放送協会放送技術研究所表示・機能素子研究部
-
佐藤 弘人
NHK放送技術研究所(表示・機能素子研究部)
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