振動流におけるウエットケミカルエッチング(バイオ・マイクロ・スポーツの流れ マイクロ流体,一般講演)
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概要
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Wet chemical etching is used for making shadow masks that have many microscopic holes in a steel sheet. Etching efficiency is thought to be limited by removal of the dissolution products away from the vicinity of the active suface. This paper descibes Wet Chemical Etching by oscillatory flows. We investigate numerically fluid dynamical aspects and mass transport phenomena nearby the etching cavity.
- 2009-09-02
著者
-
宮嵜 武
電気通信大学電気通信学研究科
-
宮嵜 武
電通大院・機械制御工学
-
宮嵜 武
電気通信大学機械制御工学
-
杉野 文弘
日本大学 文理学部
-
Miyazaki Takeshi
Research Information Center Institute Of Plasma Physics Nagoya University:hitachi Ltd. Kodaira
-
Miyazaki T
Cardiopulmonary Division Department Of Medicine Keio University School Of Medicine
-
杉野 文弘
電通大
-
Miyamae T
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist) Tsukuba Jpn
-
宮嵜 武
電通大院
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