斜め方向淀み線流によるエッチング加工
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概要
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多数の微細な穴を鋼板に加工するシャドウマスク等の加工でWet chemical etching (WCE)が用いられる.エッチングの進行は溶解反応で生成された物質が反応面近傍から除去される速さに依存する.本研究では,斜め方向淀み線流でのWCEについて,加工微細穴周辺の流動現象と物質輸送現象を数値的に調べる.淀み線流の流入角度λと淀み線と微細穴の相対的な位置関係S_lとによって流動パターンは変化し,それに応じて修正シャーウッド数Sh_x^^-も変動する.前報で調べた垂直流や水平流の場合と比較すると,修正シャーウッド数Sh_x^^-は全般的に小さくなった.また,準定常的に加工形状の発展を追いかける計算を行い,加工形状が垂直流と水平流の場合の中間的なものとなることを示した.
- 日本流体力学会の論文
- 2006-06-25
著者
-
宮嵜 武
電気通信大学大学院
-
宮嵜 武
電気通信大学電気通信学研究科
-
宮嵜 武
電気通信大学
-
宮嵜 武
電気通信大学機械制御工学
-
杉野 文弘
日本大学 文理学部
-
Miyazaki Takeshi
Research Information Center Institute Of Plasma Physics Nagoya University:hitachi Ltd. Kodaira
-
Miyazaki T
Cardiopulmonary Division Department Of Medicine Keio University School Of Medicine
-
Miyamae T
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist) Tsukuba Jpn
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