B13 回転ウェーハ上の遷移渦に与える回転加速度の影響(B1 流体工学(液膜流れ))
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-19
著者
-
宗像 瑞恵
熊本大学大学院自然科学研究科
-
吉川 浩行
熊本大学大学院自然科学研究科
-
大庭 英樹
熊本大学
-
吉川 浩行
熊本大
-
木村 誠一
熊本大学大学院自然科学研究科
-
栗島 啓聡
東京エレクトロン九州(株)
-
山本 壮平
熊本大学大学院自然科学研究科
-
大庭 英樹
熊本大学大学院自然科学研究科
-
大庭 英樹
熊大工
-
山本 壮平
熊大院
-
木村 誠一
熊大院
-
宗像 瑞恵
熊本大学 工学部知能生産システム工学科
-
宗像 瑞恵
熊本大
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