木村 誠一 | 熊本大学大学院自然科学研究科

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概要

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関連著者

• 宗像 瑞恵

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 木村 誠一

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 栗島 啓聡

  東京エレクトロン九州(株)

• 大庭 英樹

  熊大工

• 大庭 英樹

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 吉川 浩行

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 大庭 英樹

  熊本大学

• 宗像 瑞恵

  熊本大学 工学部知能生産システム工学科

• 宗像 瑞恵

  熊本大

• 吉川 浩行

  熊本大

• 山本 壮平

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 木村 誠一

  熊大院

• 松崎 和愛

  熊本大学工学部

• 山本 壮平

  熊大院

• 田中 甚輔

  熊大院

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  熊大

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• 松崎 和愛

  熊大

• 松崎 和愛

  熊本大学

• 田中 甚輔

  熊本大院

• 森 太一郎

  熊本大院

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著作論文

• 回転加速度がウェーハ上の遷移渦の初生に与える影響(流体工学,流体機械)
• B13 回転ウェーハ上の遷移渦に与える回転加速度の影響(B1 流体工学(液膜流れ))
• C14 スピンコーティングにおけるウェーハ上の境界層流れおよび液膜の乾燥速度に及ぼすカップ形状の影響(C1 流体工学1)
• 4111 スピンコーティングにおけるウェーハ上面境界層に及ぼすカップ形状と排気流れの影響(G05-9 回転に伴う流れ,G05 流体工学)
• ウェーハスピンコーティングにおけるウェーハ上のエクマン螺旋に関する研究 : エクマン螺旋に及ぼす排気流れの影響(OS13-3 流体機械に関連した内部複雑流動の解析と計測(流体機械 回転流れ))
• 半導体スピンコーティングにおけるウェーハ上のEkman Spiralに関する研究 : 第1報,可視化実験および熱線流速計による測定(流体工学(流体計測I)

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