ウェーハスピンコーティングにおけるウェーハ上のエクマン螺旋に関する研究 : エクマン螺旋に及ぼす排気流れの影響(OS13-3 流体機械に関連した内部複雑流動の解析と計測(流体機械 回転流れ))
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-24
著者
-
宗像 瑞恵
熊本大学大学院自然科学研究科
-
木村 誠一
熊本大学大学院自然科学研究科
-
栗島 啓聡
東京エレクトロン九州(株)
-
宗像 瑞恵
熊大
-
大庭 英樹
熊大
-
松崎 和愛
熊大
-
松崎 和愛
熊本大学工学部
-
大庭 英樹
熊大工
-
木村 誠一
熊大院
-
大庭 英樹
熊大院
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