多チャンネルQCMを用いたディファレンシャル・スパッタリングの計測 (イオン加速グリッド耐久認定用数値解析 JIEDI(JAXA Ion Engine Development Initiatives) ツールの研究開発ワークショップ論文集)
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概要
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Life time assessment of an ion engine needs sputtering characteristics on grid material. Sputter yield on molybdenum due to xenon ion impingement was measured by a conventional weight loss technique using a miniature ion engine. New multiple Quartz crystal Microbalance (QCM) system, positioned in hemispherical on the target plane, revealed the differential sputtering yields. The resulted sputtering yields agreed with the data given by the other conventional methods.
著者
-
國中 均
JAXA-ISAS
-
小泉 宏之
JAXA-ISAS
-
西村 太一郎
Shizuoka University
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小泉 宏之
ISAS,JAXA
-
國中 均
ISAS,JAXA
-
山極 芳樹
Shizuoka University
-
國中 均
宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部
-
小泉 宏之
Isas Jaxa
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