大きな接触力と復元力を有する低電圧駆動オーミック型RF-MEMSスイッチ(通信デバイス・回路)
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概要
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本論文では,RFトランシーバのアンテナや送受信回路切換用スイッチとして,オーミック接触型RF-MEMSスイッチを取り上げ,実用化に必須な駆動電圧の低減化の検討を行った.この技術課題を解決するため,接触力を発生する駆動部と復元力を発生するばねを分離動作させる新しいRF-MEMSスイッチ構造を提案し,MEMS専用解析ソフトCoventorWareを用いて動作解析を行った.その結果,RF-MEMSスイッチの寸法が500μm角及び変位量が1μmにおいて,従来の2倍以上の接触力150μN及び復元力136μNが得られ,駆動電圧が3.3Vと従来の1/5の低電圧駆動が可能で小型なスイッチを実現できる見通しを得た.また,スイッチング速度70μs及びDC-10GHzで良好な高周波特性が得られることを確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-08-01
著者
-
大畠 賢一
鹿児島大学工学部
-
山下 喜市
鹿児島大学工学部
-
大野 聖信
鹿児島大学
-
大畠 賢一
鹿児島大学
-
山下 喜市
鹿児島大学
-
西元 琢真
鹿児島大学工学部
-
久永 英慧
鹿児島大学工学部
-
久永 英慧
鹿児島大学大学院理工学研究科
-
西元 琢真
鹿児島大学
-
大畠 賢一
鹿児島大学工学部電子電気工学科
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