27aRB-6 応力をかけたシリコン中の鉄不純物の拡散(27aRB 格子欠陥・ナノ構造(半導体・シミュレーション),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2009-03-03
著者
-
鈴木 都文
東工大理工
-
旭 耕一郎
東工大理工
-
旭 耕一郎
東工大
-
旭 耕一郎
東工大院理工
-
旭耕 一郎
東工大理
-
鈴木 都文
東工大院理工
-
上村 知弘
静岡理工科大学
-
市野 将弘
静岡理工科大学
-
吉田 豊
静岡理工科大学
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