21aRB-6 メスバウア分光法によるシリコン中の鉄不純物応力誘起拡散の観察(21aRB 格子欠陥・ナノ構造(半導体・シミュレーション),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))

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