PDMS系ハイブリッドの絶縁封止材料への応用(有機薄膜・複合膜とデバイス応用,一般)
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概要
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ポリジメチルシロキサン(PDMS)を原料とする有機・無機ハイブリッド材料の耐熱絶縁材料への応用を目的として、各種金属アルコキシドを原料とするハイブリッドを作製し、そのハイブリッドの構造と耐熱性、絶縁性の関係を調べた結果を報告する。ケイ酸アルコキシドとアルコキシラン変性PDMSを原料とするハイブリッド膜は、低分子の揮発が少なく、耐熱性、絶縁特性に優れた材料となることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-07-16
著者
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