26aD09 フッ化カルシウム結晶の高純度化と紫外域での光学性能(機能性結晶(2),第34回結晶成長国内会議)

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概要

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• In order to improve the UV transmittance and laser durability of the calcium fluoride crystal for excimer laser, it is necessary to reduce impurities in it. To attain that purpose, some refining method which zinc fluoride is used as scavenger has been tried. And it has become clear that the atmosphere at the temperature in which scavenging reaction occurs is very important.

• 2004-08-25

著者

• 大場 点

  キヤノンオプトロン株式会社

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