フッ化カルシウム結晶育成におけるスカベンジング技術(<特集>材料物性から見たフッ化物・酸化物単結晶の育成技術)

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概要

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• 透過率やレーザー耐久性などの光学性能に優れたフッ化カルシウム結晶を得るため,新しいスカベンジング技術を考案して検証を行った.加熱時の脱ガス分析からスカベンジャーと原料との反応温度を見積もり,蒸気圧との関連から反応状態の解析を行った.その結果,単純に原料とスカベンジャーを混合し真空中で融解するだけでは,十分なスカベンジング効果が得られないと考えられた.そこで,不活性ガスを炉内に注入して反応を十分に行い,その後真空排気して生成物等を除去するという2段階の方法を考案し,結果として光学性能に優れた結晶を得ることに成功した.

• 日本結晶成長学会の論文
• 2006-09-30

著者

• 大場 点

  キヤノンオプトロン株式会社

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