24aA6 CF_4を用いて育成したフッ化カルシウム単結晶の光学性能評価(バルク成長VI)

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概要

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• Using CF_4 gas as a scavenger, growth method of calcium fluoride single crystals with high transparency in VUV region has been studied. By experiments under several conditions of heating the raw material, the transparency of resulting crystals depends on the following two factors. One is the temperature at the change to a vacuum from CF_4 atmosphere and the other is the dilution of CF_4 with inert gas such as Ar.

• 1999-07-01

著者

• 大場 点

  キヤノンオプトロン株式会社

• 大場 点

  (株)オプトロン

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