22aPS-77 A comparative investigation on the effect of oxygen atom and molecules in the reactive ion etching of NiO thin films

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2007-08-21

著者

• 中西 寛

  阪大院工

• Dino W

  Osaka Univ. Osaka

• Dino W

  Department Of Physics Osaka University

• Roman Tanglaw

  Division Of Precision Science And Technology And Applied Physics Osaka University

• Dino Wilson

  Department Of Applied Physics Osaka University

• David Melanie

  Osaka University

• Akinaga Hiro

  Nanotechnology Research Institute National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (

• Akinaga Hiro

  Nanotechnology Research Institute (nri) National Institute Of Advanced Industrial Science And Techno

• DAVIDA Melanie

  Graduate School of Engineering, Osaka University

• ROMAN Tanglaw

  Graduate School of Engineering, Osaka University

• KISHI Hirofumi

  Graduate School of Engineering, Osaka University

• NAKANISHI Hiroshi

  Graduate School of Engineering, Osaka University

• DINO Wilson

  Center for Promotion of Research in Nanoscience and Nanotechnology, Osaka University

• KASAI Hideaki

  Graduate School of Engineering, Osaka University

• TAKANO Fumiyoshi

  Nanotechnology Research Institute (NRI), National Institute of Advanced Industrial Science and Techn

• SHIMA Hisashi

  Nanotechnology Research Institute (NRI), National Institute of Advanced Industrial Science and Techn

• Shima Hisashi

  Nanotechnology Research Institute National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (

• Kishi Hirofumi

  Graduate School Of Engineering Osaka University

• Dino W

  Department Of Applied Physics Osaka University

• Kasai Hideaki

  Graduate School Of Engineering Osaka University

• Kasai Haruo

  Department Of Electronics Chiba University

• Takano Fumiyoshi

  Nanotechnology Research Institute National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (

• Takano Fumiyoshi

  Nanotechnology Research Institute (nri) National Institute Of Advanced Industrial Science And Techno

• Nakanishi Hiroshi

  Graduate School Of Engineering Osaka University

• Dino Wilson

  Department of Applied Physics, Osaka University

• Nakanishi Hiroshi

  Graduate School of Bioresources, Mie University

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