低エネルギー電子測定用半導体検出器
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概要
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低エネルギー電子検出器として表面障壁型の半導体検出器を使用する場合の光感度による雑音を避け,かつ低雑音動作を実現するためにN型サブストレイトによるA1面入射型を開発し,性能の限界,不感層生成の問題について検討した。この方法により試作した検出器は充分な信頼性を持っており飛翔体に実装して実動実験に成功した。
- 駒澤大学の論文
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