401 干渉法による微視的構造物の動的変形解析(OS11-1:実験力学による材料評価の新展開(1),OS11:実験力学による材料評価の新展開)
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概要
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Michelson type specula interferometry and speckle interferometry to measure dynamic behavior of MEMSs were constructed inside the working distance of a microscopic objective.Phase analysis using Hilbert transformation in time domain was introduced to analyze object movement continuously.Moving behavior of electro-static force actuator and a scratch drive actuator (SDA) was investigated by the proposed system.The sensitivity for deformation analysis was about 20nm and the dynamic range of measurements is from several tens of nanometers to several micrometers.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-10
著者
-
豊岡 了
埼玉大学工学部理工学研究科環境センシング研究室
-
門野 博史
埼玉大学工学部理工学研究科環境センシング研究室
-
豊岡 了
埼玉大学大学院理工学研究科環境制御システムコース
-
門野 博史
埼玉大
-
門野 博史
埼玉大工
-
豊岡 了
埼玉大院理工
-
豊岡 了
埼玉大学大学院理工学研究科
-
門野 博史
埼玉大学大学院理工学研究科
-
千田 博之
埼玉大学大学院理工研究科環境制御専攻
-
Madjarova Violeta
埼玉大学大学院理工研究科環境制御専攻
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