直径0.95mm超小型超音波モータの開発(アクチュエータ,<メカライフ特集>チカラのみなもと)

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概要

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• 2008-03-05

著者

• 篠原 潤

  セイコーインスツル

• 篠原 潤

  セイコーインスツル(株)マイクロメカ・ビジネスユニットmm企画開発部

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