430 球殻状薄膜の電気抵抗と膜厚(薄膜・溶射・コーティング)
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概要
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In this study, electric resistance of a metal film with a spherical shell fabricated by MCT was measured and discussed comparing that from the proposed model. The results show that the electric resistance decreases with the film thickness. It is possible to calculate the film thickness from the proposed model.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-25
著者
-
吉田 浩之
千葉大学大学院工学研究科
-
魯 云
千葉大学大学院工学研究科
-
廣橋 光治
千葉大学大学院工学研究科
-
広橋 光治
千葉大学工学部
-
吉田 浩之
千葉県産業支援技術研究所
-
中山 博之
千葉大学大学院工学研究科
-
魯 云
千葉大(工)
-
廣橋 光治
千葉大(工)
-
中山 博之
千葉大・学
-
廣橋 光治
千葉大学工学部
-
魯 云
千葉大学工学研究科機械系コース
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