カソード電着法によるチタニア薄膜の作製(<特集>水溶液科学に立脚したセラミックス合成プロセス)
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概要
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The cathodic electrodeposition of titania thin films from solutions containing a titanium salt was studied. Titanium tetrachloride was dissolved in an ethanol-water solution with hydrogen peroxide to prepare titanium peroxocomplex solutions. The deposition of the titania precursor on platinum-coated silicon wafer substrates was carried out by electrolysis of the solutions under constant current conditions. The deposits were thermally treated at fixed temperatures in air and then characterized by X-ray diffraction and scanning electron microscopy.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2007-12-01
著者
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目 義雄
National Institute For Materials Science (nims)
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目 義雄
独立行政法人物質・材料研究機構ナノセラミックスセンター
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目 義雄
物質・材料研究機構ナノセラミックスセンター
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目 義雄
独立行政法人 物質・材料研究機構
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目 義雄
独立行政法人 物質・材料研究機構 材料研究所 微粒子プロセスグループ
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目 義雄
物材機構ナノセラミックスセンター
-
打越 哲郎
National Institute for Materials Science
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打越 哲郎
物質・材料研究機構 ナノセラミックスセンター
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目 さっか
独立行政法人 物質・材料研究機構 ナノセラミックスセンター 微粒子プロセスグループ
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目 義雄
ナノセラミックスセンター
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目 義雄
物質・材料研究機構
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白幡 直人
独立行政法人 物質・材料研究機構
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高橋 秀和
Department of Pure and Applied Chemistry, Tokyo University of Science
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白幡 直人
National Institute for Materials Science (NIMS)
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白幡 直人
(独)物質・材料研究機構
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白幡 直人
物質・材料研究横構 若手国際研究拠点
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高橋 秀和
Department Of Pure And Applied Chemistry Tokyo University Of Science
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