Zur Analyse der anfanglich beim Au-Al-Verbindungsbereich vorkommenden Storungen bein LSI-Bearbeitungsablauf(Materials, Metallurgy & Weldability)

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概要

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• Es erklart sich hiermit ein Untersuchungsergegnis uber die Ausbildung der ausgedehnten Kleinlunkeraggregate, die gerade nach dem Schnellhei*pre*abbinden des Au-Drahtes auf die Al-Folie haufig in der Au-seitigen Au-Al-Legierungsschicht vorkommen kann. Um den Bildungsmechanismus der anfanglichen Urergangsdefkte zu untersuchen, wurden 1) der Laststatus des Binderdrucks wahrend des Drahtbindeprozesses aufgekldrt, 2) die anfanglichen Defekte in dem diffusionspaar des goldbedampften Aluminiums and der Goldmassen/Aluminium-Verbindung untersucht und, 3) der restliche Sauerstoff in der bedampften Aluminium-Membran analysiert.

• 大阪大学の論文

著者

• OHMORI A.

  Osaka University

• ARATA Y.

  Osaka University

• Nakane M

  Mitsubishi Electric Corp. Jpn

• NAKANE M.

  Mitsubishi Electric Corp.

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